최적화된 폼 팩터와 보다 효율적인 가스 경로로 생산하기 위해 Direct Metal Printing을 활용하여 제품 성능 및 혼합 효율성을 개선하고 신뢰성을 높이며 제조 비용을 절감합니다.
20:1
구성품 절감
100%
누출 방지
3 x
보다 효율적

가스 운반 및 혼합 효율성을 개선하면서 부품 수 감소

3D 프린팅 가스 혼합기

활성 냉각 기능이 있는 가스 혼합기의 금속 3D 프린팅 단면

부식성 가스를 밀봉된 공정 챔버로 운반하는 것은 반도체 자본 설비 세척 및 에칭과 같은 습식 처리 시스템에서 일반적입니다. 따라서 가스를 분리된 상태 또는 혼합된 상태로 유지해야 하는지 여부에 관계 없이 누출이 없고 흐름 난류가 제한되며 공정 챔버의 최소 구멍을 통해 가스를 효율적으로 운반하는 것이 중요합니다. 여기에는 내부식성 가스 소재로 만들어진 복잡한 다중 구성품 가스 혼합기 및 공급 장치 어셈블리가 포함됩니다.

이 모든 것은 3D Systems의 Direct Metal 3D Printing 솔루션 및 반도체 장비 전문지식을 사용하여 최적화할 수 있습니다. 신뢰성을 더 높이면서 더 작은 공간에 적합하도록 더 적은 수의 구성품으로 가스 운반 시스템을 설계할 수 있습니다. 뿐만 아니라, 더 효과적인 혼합을 더 빠르게 제공하기 위해 훨씬 더 짧은 시간 안에 최적화된 더 높은 수준의 복잡성 가스 혼합기를 개발할 수 있습니다. 

금속 적층 제조의 이점

  • 반도체 설계 유연성 - 가스 운반

  • 설계 유연성

    적층 제조를 이용하면 공정 챔버로 가스를 안정적으로 운반하고 효율적으로 혼합하는 수치적으로 모델링된 가스 경로를 통해 좁은 공간 내에서 가스 공급 장치 및 혼합기를 최적으로 설계하고 신속하게 반복 및 제조할 수 있습니다.

  • 반도체 클린룸 환경

  • 클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도

    산소 농도를 최대한 낮게 유지하는 불활성 환경에서 생산하여 소재 품질과 부품 정확도가 높을 뿐만 아니라 미세입자 청정도를 최적화할 수 있는 독자적 공정을 따르기 때문에 금속 부품이 청정실 요건을 충족할 뿐만 아니라 반도체 설비에 사용하기에도 적합합니다.

  • 성능 및 생산성

    가스 난류의 감소는 세척 및 에칭 가스의 정확하고 균일한 확산을 가능하게 하여 더 많은 웨이퍼를 처리하기 위한 전체 시스템 효율성 및 처리량이 증가합니다. 적층 제조는 또한 가스 공급 장치를 구조적으로 최적화하면서 부품 및 어셈블리 수를 줄일 수 있습니다 또한 다수의 부품으로 조립된 어셈블리를 모놀리식 부품으로 교체하여 안정성을 높이고, 제조 수율을 개선하고, 인건비를 절감합니다.

가스 운반 및 혼합 최적화

  • 가스 유동 효율 개선 - 가스 운반

    가스 유동 효율 개선

    적층 제조를 통해 반도체 장비 엔지니어들은 전례 없던 설계 유연성을 갖게 됩니다. 새로운 내부 패턴, 노즐 모양 및 혼합 챔버를 활용할 수 있으므로 최대 성능과 효율성을 위해 가스 유량 및 혼합을 최적화할 수 있습니다.

  • 웨이퍼를 들고 있는 기술자

    신뢰성 향상

    적층 제조는 가스 공급 장치를 구조적으로 최적화면서 부품 및 어셈블리 수를 줄일 수 있습니다. 이로 인해 보다 높은 구성품 무결성을 위해 최고 온도 및 작동 압력 하에서 연결부의 유체 누출을 제거하여 구성품 신뢰성을 크게 향상합니다.

  • 눈금자가 있는 반도체 가스 혼합기

    볼륨 최소화

    더 얇아진 벽과 구성품 통합은 누출 방지 무결성을 제공하고 더 작은 포장 크기에서 더 효율적인 기능을 가능하게 합니다. 기존 제조 공정에 비해 훨씬 쉽게 다축 형상 및 트랩 볼륨을 생성합니다.

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