선형 스테이지 냉각

모놀리식, 누출 방지, 금속 3D 프린팅 냉각 재킷으로 고속 스테이지의 서비스 수명 연장, 탁월한 냉각 효율성 및 성능을 제공합니다.

8:1

부품 통합

0.6mm

벽 두께 달성

75%

구성품 생산 시간 단축

부품 수를 줄이면서 선형 스테이지의 냉각 효율성 향상

냉각 채널 및 냉각 재킷의 벽 두께를 최적화하여 빠르게 움직이는 선형 스테이지 온도 안정성이 크게 향상됩니다. 엔코더의 스케일 열 균일성을 유지하면 위치 정확도와 장기적인 안정성이 보장됩니다. 구성품 통합과 결합되어 시스템 안정성이 향상되고 열원이 감소합니다.

당사는 반도체 자본 설비 응용 분야에서 수년간 축적한 경험을 바탕으로 고객이 적층 제조를 적용하여 열 관리를 최적화하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 적층 제조만으로도 독자적인 설계가 가능하기 때문에 고객은 효율적인 열 소산과 시스템 처리량 및 정확도 개선으로 전반적인 성능을 높일 수 있습니다.

금속 적층 제조의 이점

설계 유연성

적층 제조는 반도체 장비 및 열 관리 엔지니어에게 전례 없는 설계 유연성을 제공하기 때문에, 통합 냉각 채널에 대한 새로운 차원의 복잡성을 발휘하고 부품 개수와 조립체를 줄여, 선형 스테이지 냉각 재킷의 효율성을 극대화하고 더 높은 성능 및 정확도를 위한 신뢰성을 높일 수 있습니다.

클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도

산소 농도를 최대한 낮게 유지하는 불활성 환경에서 생산하여 소재 품질과 부품 정확도가 높을 뿐만 아니라 미세입자 청정도를 최적화할 수 있는 독자적 공정을 따르기 때문에 금속 부품이 클린룸 요건을 충족할 뿐만 아니라 반도체 설비에 사용하기에도 적합합니다. 금속 적층 제조 솔루션을 사용하면 0.6mm 정도로 얇은 벽 두께가 가능해지므로 냉각 채널과 제어된 표면 사이에 열 저항이 최소화됩니다.

성능 및 생산성

더 나은 열 관리와 향상된 구성품 신뢰성은 반도체 제조 장비의 속도와 가동 시간을 증가시킬 수 있어 궁극적으로 더 많은 웨이퍼를 처리하고 전체 수명 주기 가치를 높여 제조 수율의 증가로 이어집니다.

보다 효율적인 선형 스테이지 냉각기에 이르는

냉각 효율 개선

높은 가속으로 인해 선형 스테이지는 상당한 열 부하를 생성하고 유지할 수 있습니다. 선형 스테이지의 효율적인 열 관리는 더 긴 서비스 수명과 일관된 위치 정확도를 허용하여 전체 장비 처리량에 긍정적인 영향을 줍니다.
구성품 신뢰성 향상

모놀리식 냉각 재킷을 생성함으로써 용접 라인에서 누출 출처가 제거됩니다. 조립할 필요 없이 더 적은 공간에서 우수한 냉각 효율을 얻을 수 있으므로 서비스와 최대 도구 가동 시간 사이의 간격은 더 길어집니다.
시장 출시 가속화 및 비용 절감

모놀리식 구성품은 엔지니어링 프로젝트를 달성하기 위해 필요한 공급업체의 수를 획기적으로 줄입니다. 적층 제조는 기하형상에 관계없이 거의 정적인 비용과 리드 타임으로 제품 개발 단계에서 신속한 설계 반복을 가능하게 합니다.

금속 적층 제조를 사용해 반도체 설비를 개선한 Wilting

네덜란드에 본사를 둔 제조업체인 Wilting이 전문적인 첨단 금속 적층 제조 기술을 내부에 구현하여 반도체 설비의 성능과 생산성을 어떻게 개선할 수 있었는지 알아보십시오.

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미세입자 검출 성능을 높이고 있는 CERN LHCb

CERN은 3D Systems의 금속 적층 제조 기술과 전문 지식을 이용해 안정적이고 누출을 방지할 수 있는 맞춤형 냉각봉을 개발해 생산함으로써 LHC 검출기의 내부 온도를 −40º까지 낮출 수 있었습니다.

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기타 반도체 응용 분야

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매니폴드 유체 유동 최적화

웨이퍼 테이블 열 관리

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개선된 냉각 효율성 및 부품 통합으로 선형 스테이지 신뢰성 및 정밀도 향상

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부품 수를 줄이면서 선형 스테이지의 냉각 효율성 향상

금속 적층 제조의 이점

설계 유연성

클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도

성능 및 생산성

보다 효율적인 선형 스테이지 냉각기에 이르는

냉각 효율 개선

구성품 신뢰성 향상

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