부품 통합 기술, 새로운 냉각 전략 및 Direct Metal Printing에 의해 가능한 복잡한 노즐 모양을 활용하여 고속으로 안정적인 반도체 샤워헤드 생산
75%
구성품 생산 시간 단축
0.6mm
구멍 직경
4:1
파트 수 감소
생산 리드 타임을 단축하면서 샤워헤드 증착 정밀도 및 균일성 향상
제작판 위에 480 mm 이상의 금속 3D 프린팅 샤워헤드
샤워헤드는 일반적으로 반도체 제조에서 균일한 소재 증착을 위해 사용됩니다. 구멍 구성과 온도 안정성은 증착의 균일성을 결정하는 데 있어 중요한 요소입니다.
당사의 금속 적층 제조 솔루션을 사용하면 증착 제어를 위한 비원통형 노즐 형상, 열을 추출하기 위한 보다 복잡한 냉각 채널, 누출을 방지하기 위한 통합된 구성품을 포함하여 기존 방법으로 생산할 수 없는 기하형상을 제공할 수 있습니다. 수천 개의 작은 구멍을 3D 프린팅할 수 있으며 비용과 생산 시간에 미치는 영향은 미미합니다.
금속 적층 제조의 이점
설계 유연성
적층 제조는 반도체 장비 및 열 관리 엔지니어에게 전례 없는 설계 유연성을 제공하기 때문에, 통합 냉각 채널에 대한 새로운 차원의 복잡성을 발휘하고 부품 개수와 조립체를 줄여 균일한 증착을 제공하고 샤워헤드 신뢰성을 극대화할 수 있습니다.
클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도
Direct Metal Printing 솔루션을 사용하면 직경이 0.6mm 정도로 작은 구멍의 생산이 가능하므로, 고도로 정확하고 정교한 디테일 부품을 생산할 수 있습니다. 그리고 최적의 미세입자 청정도, 내부식성 소재 및 금속 적층 제조 솔루션의 불활성, 초저산소 환경을 위한 당사의 독자적 공정과 결합하여, 고객들은 클린룸 요건을 충족하면서 반도체 장비에 사용하기에 적합한 금속 부품을 생산합니다.
성능 및 생산성
미세하고 복잡한 샤워헤드 노즐, 더 나은 열 관리, 더 안정적이고 통합된 구성품은 균일한 재료 증착에 기여하며 궁극적으로 반도체 제조 장비의 속도, 수율 및 가동 시간을 크게 증가시킵니다.
반도체 샤워헤드로 균일한 증착
냉각 효율 개선
높은 압력과 소재 열 덕분에 샤워헤드는 상당한 열부하를 축적할 수 있습니다. 일관된 온도 안정성과 효율적인 열 관리는 균일한 소재 증착을 가능하게 하므로, 전반적인 공정 정확도에 긍정적인 영향을 미칩니다.
구성품 신뢰성 향상
모놀리식 샤워헤드를 생성함으로써 용접 라인에서 누출의 출처가 제거됩니다. 조립할 필요 없이 우수한 냉각 효율을 얻을 수 있어 서비스와 최대 도구 가동 시간 사이의 간격은 더 길어집니다.
짧은 시간 안에 샤워헤드 비용 절감
적층 제조를 사용하면 노즐 형태, 크기 또는 수량을 변경해도 3D 프린팅 시간에 영향을 미치지 않으므로, CNC 기계 가공 및 기타 절삭 솔루션에 비해 리드 타임이 크게 단축되고 소재 비용이 절감됩니다. 또한 모놀리식 구성품은 제품 개발 및 본격적인 생산에 필요한 공급업체의 수를 획기적으로 줄입니다.
