부품 통합 기술, 새로운 냉각 전략 및 Direct Metal Printing에 의해 가능한 복잡한 노즐 모양을 활용하여 고속으로 안정적인 반도체 샤워헤드 생산
75%
구성품 생산 시간 단축
0.6mm
구멍 직경
4:1
파트 수 감소

생산 리드 타임을 단축하면서 샤워헤드 증착 정밀도 및 균일성 향상

금속 적층 제조의 이점

  • 반도체 가스 유량 효율 개선
  • 설계 유연성

    적층 제조는 반도체 장비 및 열 관리 엔지니어에게 전례 없는 설계 유연성을 제공하기 때문에, 통합 냉각 채널에 대한 새로운 차원의 복잡성을 발휘하고 부품 개수와 조립체를 줄여 균일한 증착을 제공하고 샤워헤드 신뢰성을 극대화할 수 있습니다.
  • 보호 장구를 착용하고 3D 프린팅 부품을 잡고 있는 직원
  • 클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도

    Direct Metal Printing 솔루션을 사용하면 직경이 0.6mm 정도로 작은 구멍의 생산이 가능하므로, 고도로 정확하고 정교한 디테일 부품을 생산할 수 있습니다. 그리고 최적의 미세입자 청정도, 내부식성 소재 및 금속 적층 제조 솔루션의 불활성, 초저산소 환경을 위한 당사의 독자적 공정과 결합하여, 고객들은 클린룸 요건을 충족하면서 반도체 장비에 사용하기에 적합한 금속 부품을 생산합니다.
  • 성능 및 생산성

    미세하고 복잡한 샤워헤드 노즐, 더 나은 열 관리, 더 안정적이고 통합된 구성품은 균일한 재료 증착에 기여하며 궁극적으로 반도체 제조 장비의 속도, 수율 및 가동 시간을 크게 증가시킵니다.

반도체 샤워헤드로 균일한 증착

  • 냉각 효율 개선

    높은 압력과 소재 열 덕분에 샤워헤드는 상당한 열부하를 축적할 수 있습니다. 일관된 온도 안정성과 효율적인 열 관리는 균일한 소재 증착을 가능하게 하므로, 전반적인 공정 정확도에 긍정적인 영향을 미칩니다.

  • 웨이퍼를 들고 있는 기술자

    구성품 신뢰성 향상

    모놀리식 샤워헤드를 생성함으로써 용접 라인에서 누출의 출처가 제거됩니다. 조립할 필요 없이 우수한 냉각 효율을 얻을 수 있어 서비스와 최대 도구 가동 시간 사이의 간격은 더 길어집니다.

  • 모래시계를 받치고 있는 손

    짧은 시간 안에 샤워헤드 비용 절감

    적층 제조를 사용하면 노즐 형태, 크기 또는 수량을 변경해도 3D 프린팅 시간에 영향을 미치지 않으므로, CNC 기계 가공 및 기타 절삭 솔루션에 비해 리드 타임이 크게 단축되고 소재 비용이 절감됩니다. 또한 모놀리식 구성품은 제품 개발 및 본격적인 생산에 필요한 공급업체의 수를 획기적으로 줄입니다.

관련 자료

  • 반도체 eBook 커버

    금속 적층 제조를 빠르게 도입 및 확장

    이 eBook에서는 3D Systems의 수십 년에 이르는 경험과 전문 지식을 통해 금속 AM을 통합하여 반도체 자본 설비 제조업체 및 공급업체의 성능, 생산성 및 신뢰성 향상을 촉진하는 방법을 알아봅니다.

  • 로봇 암 위에 놓인 실리콘 웨이퍼와 마이크로회로

    반도체 자본 설비를 위한 적층 제조

    반도체 자본 설비 제조업체 및 공급업체가 3D Systems의 금속 적층 제조를 통해 성능, 생산성 및 신뢰성 개선에 필요한 역량을 갖출 수 있는 방법에 대해 알아보세요.

기타 반도체 응용 분야

전문가와 상담하기

3D Systems 커뮤니케이션을 수신하는 데 동의합니다.
3D Systems로부터 특별 할인, 최신 제품 및 이벤트 뉴스를 수신하시겠습니까? "예"를 클릭하면 3D Systems 또는 저희 파트너사로부터 후속 커뮤니케이션을 수신하는 데 동의하는 것입니다. 언제든지 커뮤니케이션을 탈퇴할 수 있습니다. 여기를 클릭하여 개인 정보 보호 정책에 대해 알아보거나 여기를 클릭하여 사용자 설정을 관리하십시오.

이 사이트는 reCAPTCHA에 의해 보호됩니다. Google 개인정보처리방침서비스 약관이 적용됩니다.

  • Application Innovation Group

    3D Systems 팀은 적층 제조 솔루션으로 가장 어려운 설계 및 생산 문제를 해결하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 3D Systems는 고객이 무엇을 원하는지 찾아 협력하면서 설계 최적화, 원형 제작, 검증 및 제조 흐름을 정의합니다.