부품 통합 기술, 새로운 냉각 전략 및 Direct Metal Printing에 의해 가능한 복잡한 노즐 모양을 활용하여 고속으로 안정적인 반도체 샤워헤드 생산
75%
구성품 생산 시간 단축
0.6mm
구멍 직경
4:1
파트 수 감소

생산 리드 타임을 단축하면서 샤워헤드 증착 정밀도 및 균일성 향상

상단에 치수를 표시하는 눈금자가 있는 3D 프린팅 샤워헤드

제작판 위에 480 mm 이상의 금속 3D 프린팅 샤워헤드

샤워헤드는 일반적으로 반도체 제조에서 균일한 소재 증착을 위해 사용됩니다. 구멍 구성과 온도 안정성은 증착의 균일성을 결정하는 데 있어 중요한 요소입니다.

당사의 금속 적층 제조 솔루션을 사용하면 증착 제어를 위한 비원통형 노즐 형상, 열을 추출하기 위한 보다 복잡한 냉각 채널, 누출을 방지하기 위한 통합된 구성품을 포함하여 기존 방법으로 생산할 수 없는 기하형상을 제공할 수 있습니다. 수천 개의 작은 구멍을 3D 프린팅할 수 있으며 비용과 생산 시간에 미치는 영향은 미미합니다.

금속 적층 제조의 이점

  • 반도체 가스 유량 효율 개선

  • 설계 유연성

    적층 제조는 반도체 장비 및 열 관리 엔지니어에게 전례 없는 설계 유연성을 제공하기 때문에, 통합 냉각 채널에 대한 새로운 차원의 복잡성을 발휘하고 부품 개수와 조립체를 줄여 균일한 증착을 제공하고 샤워헤드 신뢰성을 극대화할 수 있습니다.

  • 보호 장구를 착용하고 3D 프린팅 부품을 잡고 있는 직원

  • 클린룸 환경을 위한 높은 품질과 정확도

    Direct Metal Printing 솔루션을 사용하면 직경이 0.6mm 정도로 작은 구멍의 생산이 가능하므로, 고도로 정확하고 정교한 디테일 부품을 생산할 수 있습니다. 그리고 최적의 미세입자 청정도, 내부식성 소재 및 금속 적층 제조 솔루션의 불활성, 초저산소 환경을 위한 당사의 독자적 공정과 결합하여, 고객들은 클린룸 요건을 충족하면서 반도체 장비에 사용하기에 적합한 금속 부품을 생산합니다.

  • 성능 및 생산성

    미세하고 복잡한 샤워헤드 노즐, 더 나은 열 관리, 더 안정적이고 통합된 구성품은 균일한 재료 증착에 기여하며 궁극적으로 반도체 제조 장비의 속도, 수율 및 가동 시간을 크게 증가시킵니다.

반도체 샤워헤드로 균일한 증착

  • 냉각 효율 개선

    높은 압력과 소재 열 덕분에 샤워헤드는 상당한 열부하를 축적할 수 있습니다. 일관된 온도 안정성과 효율적인 열 관리는 균일한 소재 증착을 가능하게 하므로, 전반적인 공정 정확도에 긍정적인 영향을 미칩니다.

  • 웨이퍼를 들고 있는 기술자

    구성품 신뢰성 향상

    모놀리식 샤워헤드를 생성함으로써 용접 라인에서 누출의 출처가 제거됩니다. 조립할 필요 없이 우수한 냉각 효율을 얻을 수 있어 서비스와 최대 도구 가동 시간 사이의 간격은 더 길어집니다.

  • 모래시계를 받치고 있는 손

    짧은 시간 안에 샤워헤드 비용 절감

    적층 제조를 사용하면 노즐 형태, 크기 또는 수량을 변경해도 3D 프린팅 시간에 영향을 미치지 않으므로, CNC 기계 가공 및 기타 절삭 솔루션에 비해 리드 타임이 크게 단축되고 소재 비용이 절감됩니다. 또한 모놀리식 구성품은 제품 개발 및 본격적인 생산에 필요한 공급업체의 수를 획기적으로 줄입니다.

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